爱德华EDWARDS半导体真空泵iXH1210 干式泵
Edwards iXH 610 是一系列新型干泵，专为绿色制造和苛刻化学工艺的处理而设计。使用非常低的能量开发了高效的罗茨机制，可将输入功率显着降低至 1.3 kW，比上一代干泵低 60%，从而减少对环境的影响并降低拥有成本。阻气技术和热设计改进使耐腐蚀性比 iH 系列产品高四倍。先进的粉末处理功能意味着 iXH 将为多层蚀刻工艺提供最大的可靠性和延长泵的使用寿命，并降低 CVD 工艺的功耗，尤其是使用 HARSH 化学品。
Edwards iXH 610 系列泵结构紧凑、重量轻，加上极低的噪音和振动，使 iXH 成为 Edwards 系列中用途最广泛的化学干泵。iXH 将改变您对干式真空泵技术的期望，带来真正的好处并延长正常运行时间，同时将环境影响降至最低。iXH 泵设计用于大多数半导体工艺，同时显着降低输入功率。有关完整的说明手册，请参阅侧面的下载。
特点和优点：
主要用于 HARSH 化学应用
峰值抽速 665 m3/h-1 (391 CFM)
极限压力 3.7 X 10-3 Torr
无需预防性维护
3/8 英寸快速连接注水
水和电力连接配对半
SS水冷系统
多模式 44 slm 气体模块
苏州希文控制科技有限公司坐落于百强县之首江苏昆山市，专注于各种类型真空泵配套，真空泵维修及真空泵配件耗材制造销售。主要的真空泵维修品牌有：英国Edwards爱德华真空泵维修，德国Pfeiffer普发真空泵维修，德国Leybold莱宝真空泵维修，美国Agilent安捷伦真空泵维修，日本岩田真空泵维修，法国ALCATEL真空泵维修，日本爱发科ULVAC真空泵维修,瑞士VAT阀门等进口真空泵维修，真空泵油及其配件耗材等。公司自成立以来以快速的反映能力，过硬的质量，优质的服务，性价比高广受好评。
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公司拥有油泵维修及干泵维修车间，分子泵和检漏仪无尘车间，作业标准化为您提供优质真空泵维修服务
维修及办公地址：江苏省苏州市昆山市张浦镇震阳中路186号
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BOC EDWARDS iXH610干泵销售,爱德华iXH610真空泵维修
Edwards iXH 系列干泵拆解教程，图解，说明文档PDF下载
EDWARDS腔体怎么拆？
专业销售维修爱德华真空泵干泵，我司公在真空泵维修方面有着丰富的经验。
EdwardsiXH真空泵系统采用一系列具有高抽气速率的干式泵和增压泵以达到很好的压缩比，爱德华真空泵干泵维修从而实现高效率地抽取氢气。该系统为模块化设计，可灵活配置，因此易于满足各种太阳能和半导体制造工艺中的现场安装和性能要求。部件可以上下堆叠，从而达到业内最小的占地面积。各种型号的EdwardsiXH真空泵可针对具体应用要求灵活配置，并且由单个控制器进行管理，对操作人员而言这是一种简单易用、可无缝集成的真空系统。
真空有限公司专业维修进口真空泵，爱德华真空泵干泵维修，公司拥有经过专门培训的维修工程师，具备专业和全面的真空泵维修知识和技能，多年来一直为光伏半导体太阳能行业客户维修各种进口真空泵，获得了业界客户和朋友的认可。
Edwards爱德华干泵维修真空泵干泵维修
我们及维修的真空泵，覆盖的品牌，维修品牌有：
法国阿尔卡特：AlcatelAdixen
英国爱德华：Edwards
德国莱宝：OerlikonLeybold
普旭BUSCH
德国西赫：SIHIdry
贝克BECKER
科威尔KOWEL
里其乐RIETSCHLE
ALCATEL阿尔卡特系列真空泵
Edwards爱德华系列真空泵
OerlikonLeybold德国莱宝真空泵
BUSCH普旭真空泵：
COBRASemicon系列干式螺杆真空泵
COBRAInstry系列干式螺杆真空泵，
Panda/Puma系列罗茨泵R5系列旋片泵，
COBRASemicon系列干式螺杆真空泵
COBRAInstry系列干式螺杆真空泵
Panda/Puma系列罗茨泵
R5系列旋片泵
贝克BECKER真空泵
科威尔KOWEL真空泵
里其乐RIETSCHLE真空泵：VWP系列罗茨泵，VSI系列螺杆真空泵
Edwards iXH610 MK1LVMM44AC110A121100
Edwards iXH1210 MK1LVMM44AC310A121200
Edwards IXH1210（高压）ACDA0A122200
Edwards IXL120NA54114010
Edwards IXH610(高压）ACB10A121100
Edwards IXH1820(高压）ACE203122200
Edwards IXL600N(高压）A54134010
Edwards IGX600N(高压）A54631959
Edwards IGX100N(高压）A54611959
Edwards IGX100MTi(低压）NRY128000
Edwards IGX600L(低压）A54630958
Edwards IXH100(低压）AC010A121000
Edwards IXH1210HT(低压）AC3A1A122200
Edwards IXH1820H(低压）AC4B07122200
Edwards IXL100N(低压）A54154020
PDF Edwards iXH 苛刻的耐化学腐蚀干式半导体泵手册.pdf1.02 MB，PDF
PDF Edwards iXH 苛刻的耐化学腐蚀干式半导体泵使用手册.pdf1.91 MB，PDF
PDF Edwards Micro Tool Interface TIM 说明手册.pdf0.98 MB，PDF
